ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列可快速達到真空設(shè)定值并保持該設(shè)定值，即使遇到不穩(wěn)定的供給壓力或者不斷變化的溫度，亦如此。我們將利用您提供的參數(shù)為您定制閥門和 PID 調(diào)節(jié)功能，確保您的真空控制器能實現(xiàn)快速、穩(wěn)定的控制。

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更新時間：2024-11-20

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暖通環(huán)保

風(fēng)速風(fēng)向儀風(fēng)機性能測試裝置風(fēng)洞裝置環(huán)境監(jiān)測儀器便攜式氣質(zhì)聯(lián)用儀測距儀定位儀功率計風(fēng)速儀照度計探頭傳感器變送器相序表防潮箱示波器超聲波探傷儀激光對中儀射線儀器轉(zhuǎn)速儀數(shù)顯儀照度儀望遠鏡電導(dǎo)率計檢測儀記錄儀計數(shù)器絕緣電阻測試儀控制器報警儀發(fā)生器動態(tài)校準(zhǔn)儀分析儀在線監(jiān)測系統(tǒng) 多參數(shù)水質(zhì)分析探頭水質(zhì)自動監(jiān)測系統(tǒng) 水質(zhì)在線自動分析儀轉(zhuǎn)換器粉塵儀采樣探頭濕度儀監(jiān)測儀揮發(fā)性有機物在線分析儀氨逃逸在線監(jiān)測系統(tǒng) 煙氣排放連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng) 煙氣分析儀紅外熱像儀可燃氣體檢測儀不透光度計汽車尾氣分析儀標(biāo)準(zhǔn)測量天線電磁波測試計微波漏能儀場強儀風(fēng)量罩

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產(chǎn)品介紹

在流動氣體專用真空控制器中，53系列真空控制器可快速達到真空設(shè)定值并保持該設(shè)定值，即使遇到不穩(wěn)定的供給壓力或者不斷變化的溫度，亦如此。我們將利用您提供的參數(shù)為您定制閥門和 PID 調(diào)節(jié)功能，確保您的真空控制器能實現(xiàn)快速、穩(wěn)定的控制。

ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列應(yīng)用及案例

●人造鉆石MPCVD設(shè)備

●半導(dǎo)體各種CVD鍍膜設(shè)備

ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列產(chǎn)品特色

● 快速、準(zhǔn)確的閥門和PID控制算法確保在數(shù)毫秒內(nèi)極其快速地達到真空設(shè)定值，且具有NIST可溯源精度。

● 默認背壓控制選項。53系列真空控制器下游閥門的選項，可使您的真空產(chǎn)品成為背壓控制器。該選項與絕壓壓力傳感器配合時尤其能取得事半功倍的效果，后端真空泵如何變化，均可將您的過程系統(tǒng)保持在一定的準(zhǔn)確真空度。

● 針對CVD行業(yè)特殊設(shè)計的結(jié)構(gòu)，VCR 接頭與底座一體式加工，結(jié)構(gòu)更加緊湊，泄漏率可達10-9 atm·cc/sec He，更好的滿足客戶需求。

技術(shù)指標(biāo)

性能

滿量程	300-1000mbarA(該范圍內(nèi)任意標(biāo)定)
精度	± 0.25%滿量程
高精度	± 0.125%滿量程
重復(fù) 性	± 0.08%滿量程
零點&滿量程溫度漂移	0.02%滿量程/℃（從校準(zhǔn)溫度開始）
量程可控比（穩(wěn)態(tài)）	0.5% ~ 100% 滿量程
控制響應(yīng)時間	優(yōu)于30 ms（與流量和閥門尺寸有關(guān)，用戶可調(diào)）
顯示響應(yīng)時間	＜10ms
閥門功能	常閉型
工作濕度	0-95%，無冷凝
泄漏率（外漏）	10-9 atm·cc/sec He
預(yù)熱時間	< 1 s

操作條件

兼容氣體	兼容所有非腐蝕性氣體
工作溫度	-10 ~ 60 ℃（可選高溫選項）
傳感器極限壓力	3 × 滿量程
位置敏感性	無
閥門狀態(tài)	常閉
防護等級	IP40
接液材質(zhì)	302,303,304，430FR不銹鋼，F(xiàn)KM（默認，可選EPDM或FFKM），陶瓷，玻璃，金，銅，環(huán)氧樹脂，硅橡膠，聚酰胺，硅，玻璃增強聚苯硫醚

通訊/電源

帶背光燈按鍵，單色 LCD或彩色TFT顯示器	顯示壓力和設(shè)定點
數(shù)字通信選項	默認RS – 232/ Modbus RTU；可選RS – 485/Modbus RTU、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP、PROFIBUS等
模擬信號選項	默認0 - 5 VDC；可選4-20mA、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC
模擬信號刷新頻率	1000Hz
顯示刷新頻率	10Hz
數(shù)字信號刷新頻率	40Hz@19200BAUD
模擬信號精度	標(biāo)準(zhǔn)精度額外增加±0.1%滿量程誤差
電氣接口	默認DB9M；可選 DB15、6針鎖定、8針mini-DIN、M12等
供電電壓	12 - 24 VDC
供電電流	250m A（+40mA,對于4-20mA）